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蚀刻最小开孔跟材料厚度相关。目前能蚀刻的最小开孔是0.1mm的,但材料的厚度必须是0.03-0.05mm。孔间距以0.1mm厚的不锈钢为例,可以做的0.2mm的孔间距。深度精度最高达到+/-0.02mm。相应的:材料越高,开孔需相应增大,孔间距也相应增宽。
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