蚀刻最小能开多大的孔，孔的间距及精度是多少?

蚀刻最小开孔跟材料厚度相关。目前能蚀刻的最小开孔是0.1mm的，但材料的厚度必须是0.03-0.05mm。孔间距以0.1mm厚的不锈钢为例，可以做的0.2mm的孔间距。深度精度最高达到+/-0.02mm。相应的：材料越高，开孔需相应增大，孔间距也相应增宽。